从涂胶、显影到清洗全流程自动化,提升产能,降低人力成本。
完全国产关键部件,实现技术自主可控,符合国家政策扶持方向。
通过ISO9001质量体系和国家高新技术企业认证,质量有保证。
沈阳芯达科技有限公司专注于集成电路涂胶显影(clean track)技术,提供全自动涂胶显影、光刻胶超声波喷涂、湿法清洗、湿法去胶、干法刻蚀、晶圆表面极性(HMDS)等系列设备,满足2‑12英寸晶圆的全部工艺需求。
我们的设备通过ISO9001质量体系认证,拥有国家高新技术企业资格,在国内半导体设备领域具备领先的技术优势和可靠的售后服务。
无论您是科研机构、半导体中试生产线还是大批量量产工厂,芯达的全自动化解决方案都能帮助您提升良率、降低成本、实现国产化突破。