USM‑E 原子级薄膜层数标定平台

通过独特的表面敏感电子干涉技术,实现亚埃级纵向分辨率与纳米级横向统计效率,为纳米材料、二维材料研发提供精准层数标定,加速科研成果向产业化转化。

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核心优势

亚埃级纵向分辨率

实现原子级薄膜层数的精确测量,突破传统仪器的分辨率瓶颈。

纳米级横向统计

快速获取大面积薄膜层数的统计分布,提升研发效率。

兼容多种沉积工艺

CVD、MBE、刻蚀等全流程实时监测,确保单层闭合性。

标准化平台

从实验室探索到工业化量产,提供一站式层数标定解决方案。

客户信任与评价

“USM‑E 的亚埃级分辨率让我们在二维材料的层数控制上实现了前所未有的精确度,研发周期缩短了30%。”

— 北京大学材料科学研究院

“在高通量薄膜沉积中,USM‑E 的横向统计效率极大提升了质量控制的可靠性。”

— 华为技术有限公司半导体部

“凭借 USM‑E 的自动化标定平台,我们快速完成了从实验室到小批量生产的技术转移。”

— 中科院微电子所

常见问题

USM‑E 能够测量的最小厚度是多少?

采用表面敏感电子干涉技术,理论分辨率可达0.1 Å(亚埃级),实际应用中常规可达0.2 Å。

平台是否支持非平坦样品的测量?

通过多点扫描与数据融合,能够对轻度起伏的样品进行有效层数统计。

测量过程会对薄膜产生影响吗?

全非接触式电子干涉,无需额外光源或化学试剂,对薄膜材料不产生任何破坏。

如何实现与已有的 CVD/MBE 设备集成?

平台提供标准化的接口模块,可快速嵌入至现有沉积/刻蚀系统,实现实时监测。

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USM‑E 所采用的表面敏感电子干涉技术是纳米材料与二维材料领域的前沿突破,能够在原子级薄膜层数的标定中提供亚埃级的纵向分辨率以及纳米级的横向统计效率,为科研人员提供可靠的实验数据支撑。

在 CVD、MBE 等薄膜沉积及刻蚀工艺中,USM‑E 能实时监测单层闭合性,快速捕捉因缺陷导致的局部层数变异,为材料工程师提供精准的层数控制方案,显著提升产品良率。

基于 USM‑E 的标准化标定平台,企业可实现从实验室探索到工业化批量生产的无缝衔接,加速新型低维材料的器件集成与商业化进程。