采用先进的冷却技术，实现芯片温度快速降低，提升产能与良率。
模块化水路系统，兼容多种工艺需求，安装调试简便。
严苛质控，长时间运行无故障，降低维护成本。
根据客户需求提供软硬件一体化定制，灵活适配各种生产线。
“TOFCO 的冷却系统帮助我们把晶圆产线的温度控制在最佳区间，显著提升了良率，设备运行稳定可靠。”
“水路集成方案极具模块化，交付速度快，后期维护简便，是我们首选的合作伙伴。”
“从方案设计到现场调试，TOFCO 的专业团队提供了全程技术支持，合作非常满意。”
东富科精密仪器(苏州)有限公司致力于为半导体产业提供全方位的冷却与水路集成系统，帮助企业降低能耗、提升产能。我们拥有自主研发的核心技术，已在国内外多家知名晶圆厂得到验证。
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